6月2日，走进位于武汉经开区的吉盛微（武汉）新材料科技有限公司（以下简称吉盛微）无尘车间，长江日报记者的第一反应是屏住呼吸。

透过那扇明亮的观察窗，一排深灰色的圆环正在依序受检。它们直径300毫米，看起来就像普通的金属垫圈。但公司总经理刘宁宁说出的话，让记者心头一震——“这看似不起眼的‘小部件’是半导体制造中的关键耗材，价格不菲。”

更让记者惊讶的是另一组数字：这家2023年3月才成立的公司，产值连年激增，2025年较前一年猛增14倍，客户已覆盖国内多家半导体龙头企业。而他们的拳头产品，正是眼前这些碳化硅边缘环。

刘宁宁向记者展示快速热处理边缘环。记者徐丹 摄

曾受制于人十余年，一个小环卡住整条产线

在吉盛微的产品展厅，记者看到了一个不断扩张的“材料矩阵”：碳化硅边缘环、聚焦环、晶圆舟、簇射极板……大大小小、形态各异的零部件摆满了展台，种类超过数十种。

刘宁宁托起玻璃罩内的快速热处理边缘环，指着内缘结构说：“最薄0.25毫米，三张纸的厚度。在快速热处理过程中，它需要与晶圆同步经历毫秒级升温响应，承受从室温到1000℃以上的剧烈热冲击，同时保证晶圆位置稳定不偏移，并长期抵抗高温、热应力以及腐蚀性工艺气体的侵蚀。

他打了个比方：“就像让你的手从冰水里直接伸进滚油，还得稳稳端个盘子，你说这材料得多抗造？”

记者伸手轻轻摸了一下，表面光滑得像镜子，冰凉而坚硬，举高看是透光的。

“这就是半导体设备里的一颗小齿轮。”刘宁宁说，“齿轮看着不起眼，但少了它，整台机器转不起来。”

可就是这样一颗“小齿轮”，过去十几年里一直被国外企业牢牢掌握，价格高得离谱不说，交期动不动半年起步。

2023年，吉盛微成立，决定啃这块硬骨头。

但所有人都知道，这条路没那么好走。

技术人员正对半导体关键零部件进行精细加工和全过程质量管控。通讯员供图

一年多的“炸环”与“烧钱”，良率逼到了90%以上

记者问吉盛微的研发工程师，最难的时候是什么样子？

他沉默了两秒，说了一个数字：“良率只有30%到40%。”

这意味着，每做10个环，就有六七个是废品。而每个环的成本，从材料到加工到检测，动辄数万元。

“那段时间，车间里的气氛很压抑。”研发工程师带记者走到一台加工设备前，比画着说，“碳化硅这东西，硬，但脆。0.25毫米的厚度，稍微一个参数不对，整片就裂了。我们管这叫‘炸环’。”

团队不分昼夜地“头脑风暴”，调整参数，改进工艺。烧掉一批，分析原因，再烧一批。这样的日子，持续了一年多。

真正的突破，来自一层薄到看不见的涂层。

研发工程师告诉记者，他们在碳化硅表面，用热氧化的方式“长”出一层二氧化硅薄膜，厚度只有一微米——相当于一根头发丝直径的七十分之一。但就是这层“皮肤”，彻底改善了材料在极端温度下的表现。

另一个产品聚焦环的研发，更是“烧钱”烧到肉疼。为了突破一个高电阻的技术指标，团队一炉一炉地做实验。

“几十炉。”研发工程师伸出几根手指，“几十炉的经验，才把客户要的指标全部跑通。”

记者问他，那时候怕不怕？

他想了想，说：“怕肯定是怕的。但更怕的是，一直做不出来。”

如今，吉盛微已实现从原料到成品的全流程闭环，良率稳定在90%以上，成为国内少有能量产该型高端边缘环的企业。

技术人员正对半导体关键零部件进行高精度尺寸检测。记者徐丹 摄

政府引导基金积极推进投资，我们能更专注研发

在吉盛微的研发中心，记者看到了另一番景象。

会议室的白板上，画满了密密麻麻的流程图。几台电脑屏幕上，跑着记者看不懂的数据模型。刘宁宁告诉记者，他们正在做两件事：一是建立内部AI问答系统，把过去两年所有的研发数据、失败案例、成功经验全部数字化；二是与高校合作，训练材料研发的专用AI模型。

“以前调一个配方，可能要几个月试错。现在AI先算一遍，给出预测范围，我们再做验证。”刘宁宁说，“不是AI替代人，而是人加AI，跑得更快。”

“公司已多次获得资本支持，‘武汉车谷科创投资基金’等政府引导基金也在积极推进投资接洽，我们能更专注地投入半导体设备关键零部件技术研发。”刘宁宁说，近3年来，公司累计研发投入超5000万元，研发人员规模占比近30%。

当前，吉盛微在部分关键产品上实现了全国独家供应，价格比进口低三成，交货周期从半年压缩到一个月。刘宁宁算了笔账：“我们这个领域，国产化率不到5%，还有95%的市场空间。”

记者问：“下一步呢？”

“继续扩产，继续研发。”他说，订单已经排到了今年三季度，今年全年产值预计再翻两三倍。

在国内布局上，武汉的研发中心和生产基地要扩建，氮化铝、氮化硅、特殊涂层……新材料体系一个接一个往上铺。

在国际布局上，新加坡、德国的客户已经完成工厂审核，今年将实现小批量出口。同时计划在日本设立研发中心，在欧洲寻求深度合作机会。

走出吉盛微的大门时，记者回头看了一眼那栋并不起眼的厂房。

就在那里，一群工程师用两年多时间，在0.25毫米厚度上凿开了半导体关键零部件的国产之路。

一家国内头部半导体企业的负责人对记者坦言：“关键零部件的国产研制让我们坚定了发展的信心，真正不再受制于人。”

“我们要做的，是成为客户生态圈中不可或缺的一环。”刘宁宁说。在半导体产业链重构的今天，这个目标正一步步变为现实。

（长江日报记者徐丹 通讯员蒋秋雨 李锦）

【罗田甜】