长江日报大武汉客户端6月5日讯 从接洽到决定落户武汉，总部位于深圳的诺峰晶研半导体有限公司仅用了不到一个月时间。该公司总裁李洪福坦言，武汉集聚了芯片链主企业，正成为产业配套企业争相布局的投资热土。

今年初，这家专注半导体设备研发的科技企业落户武汉中德国际产业园。

6月4日上午，在该公司无尘车间内，一台两层楼高的大型设备正在安装调试。身穿防尘服的软件工程师坐在设备旁，紧盯屏幕数据校准设备参数。李洪福介绍，这台设备名叫化学机械抛光机，由3万余个零部件组成，是芯片制造的关键设备之一。首台设备预计6月底完成验证，开始量产。今年计划量产50台，直供武汉存储芯片大厂。

武汉诺峰公司首台化学机械抛光机即将下线。 记者张衡 摄

这套设备可适配5纳米、7纳米高端芯片制程。如将垂直堆叠的存储芯片比作摩天大楼，晶圆就是大楼基座，抛光机通过研磨工艺，使晶圆表面的平整度达到纳米级精度，确保上层电路能够精准、平稳地叠加铺设。

李洪福说，在武汉布局，核心是为了实现与链主企业的零距离协同。公司落户武汉后与光谷存储芯片大厂建立了24小时响应机制。每半个月，对方工程师会到蔡甸进行现场技术指导。“与链主企业的紧密合作，使研发方向更精准、迭代速度更快。”

首台化学机械抛光机即将下线。记者张衡 摄

目前，武汉诺峰公司已组建起300余人的研发团队，完成化学机械抛光机、清洗机、原子层沉积设备等三款半导体前道关键工艺装备的定型。占地208亩的诺峰半导体产业园也将在武汉中德国际产业园动工建设，落地研磨、原子层沉积、清洗、刻蚀、光刻等半导体前道全系列核心装备生产线。

（长江日报记者袁满 张衡 通讯员王佩玺 张栋）

【罗田甜】